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去離子水是指除去了呈離子形式雜質后的純水。國際標準化組織ISO/TC 147規定的“去離子”定義為：“去離子水完全或不完全地去除離子物質?！比缃竦墓に囍饕捎肦O反滲透的方法制取。應用離子交換樹脂去除水中的陰離子和陽離子，但水中仍然存在可溶性的有機物，可以污染離子交換柱從而降低其功效，去離子水存放后也容易引起細菌的繁殖。
去離子水設備處理從自來水到去離子水一般要經過幾步處理 ：
1、先通過石英砂過濾顆粒較粗的雜質。
2、然后高壓通過反滲透膜。
3、最后一般還要經過紫外殺菌以去除水中的微生物。
4、假如此時電阻率還沒有達到要求的話，可以再進行一次離子交換過程最高電阻率可達到18兆。
相對而言，蒸餾水只是先氣化再冷凝，其純度如電阻率一般不如純度高的去離子水，半導體工業中用的大多數是高純度的去離子水。
標準：
1、無色的澄明液體、無臭、無味。
2、電阻率大于0.5 MΩ·cm（兆歐·厘米） 最高電阻率可達到18兆。
3、去離子水的純度比蒸餾水的高。